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多晶硅基體金屬雜質(zhì)檢測

電子級多晶硅金屬雜質(zhì)含量是評價其產(chǎn)品質(zhì)量的重要指標(biāo)之一,其雜質(zhì)含量的高低直接影響下游晶圓制造產(chǎn)品質(zhì)量,所以對其金屬雜質(zhì)含量的控制至關(guān)重要。萊伯泰科提供可靠、易用的 ICP-MS產(chǎn)品,擁有良好的精度,可實現(xiàn)多晶硅金屬元素雜質(zhì)準(zhǔn)確分析,確保制造商始終能夠生產(chǎn)出高品質(zhì)的產(chǎn)品。
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